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硼酸三甲酯

關鍵詞：

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MO源領域、電子級碘甲烷和氫碘酸領域、高科技合成酸領域、多元醇酯類冷凍機油領域

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產品描述

中文名

化學式

CAS號

別名

英文名

產能情況和庫存

硼酸三甲酯

C6H9BO3

121-43-7

TMB

Trimethyl borate

前驅體

 

硼酸三甲酯（TMB）

化學式

C6H9BO3

中文名稱

硼酸三甲酯

英文名稱

Trimethyl borate

CAS No.

 121-43-7

分子量

103.91

應用

用作半導體擴散摻雜源，在硼硅酸鹽(BSG)和硼磷硅酸鹽(BPSG) 玻璃薄膜沉積中用作液相硼摻雜劑，以降低沉積 玻璃的回流溫度。也用于高純硼的制備等。硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicate Glass，BPSG)，即摻雜了硼和磷的二氧化硅作為第一層金屬前介電質(PMD)以及金屬層間介電質(AVID)在IC制造中有著廣泛的應用。二氧化硅原有的有序網絡結構由于硼磷雜質(B2O3、P2O5 )的加入而變得疏松，在高溫條件下某種程度上具有像液體一樣的流動能力( Reflow )。因此BPSG薄膜具有卓越的填孔能力，并且能夠提高整個硅片表面的平坦化，從而為光刻及后道工藝提供更大的工藝范圍。

產品規格

9N（99.9999999%）

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